铜川XYZ光纤耦合平台

所属分类：铜川定制平台
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发布时间：2022-03-29 11:29:36

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产品特点
产品参数
系统架构

XYZ均采用直线电机及高精度交叉滚柱导轨 XYZ内置高精度绝dui值光栅尺，1nm光栅分辨率，重复定位精度≤±100nm，绝dui定位精度（位置误差补偿后）≤±350nm；配套专用高精度控制器，实现静态抖动（jitter）值≤±25nm，让耦合更稳定；高速寻光，每轴速度≥350mm/s,加速度≥1g，让找光、寻光更快，效率更高。