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6轴迷你平台用于光学调平定位

6轴迷你平台用于光学调平定位

  • 所属分类:定制平台
  • 浏览次数:
  • 二维码:
  • 发布时间:2022-03-29 11:26:51
  • 产品特点
  • 产品参数
  • 系统架构

XY为超博直线电机,内置光栅尺,重复定位精度<1um Theta轴为直驱力矩电机,角度调整,内置光栅尺 z上端为3个Z轴音圈电机,特殊算法,内置光栅尺,可以实现上下调焦及超高精度调平。

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