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铜川XYZ 晶圆检测平台

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发布时间：2022-03-29 11:18:21

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XY十字叠加结构，内置直线电机，步进/扫描 Z轴采用特别设计，用于光学调焦，重复定位精度±1um XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um 底座为采用大理石材料，可以很好的保证下轴超高的平面度。

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