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XY十字叠加结构,内置直线电机,步进/扫描Z轴采用特别设计,用于光学调焦,重复定位精度±1umXY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um底座为采用大理石材料,可以很好的保证下轴超高的平面度。