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XY中空设计,Class100XY十字叠加结构,内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨XY集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.5um,绝dui定位精度2umT轴为高精度力矩电机,轴向/径向端跳<3um,360度旋转。