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XY为超博直线电机,内置光栅尺,重复定位精度<1umTheta轴为直驱力矩电机,角度调整,内置光栅尺z上端为3个Z轴音圈电机,特殊算法,内置光栅尺,可以实现上下调焦及超高精度调平。