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南昌中空XY 晶圆检测平台

南昌中空XY 晶圆检测平台

  • 所属分类：南昌定制平台
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  • 发布时间：2022-03-29 11:16:00
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XY中空设计 XY行程288mm*288mm XY十字叠加结构，内置直线电机及高精度交叉滚柱导轨 XY集成高精度光栅尺，重复定位精度±0.5um，绝dui定位精度2um

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