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XYZ微型显微镜平台

XYZ微型显微镜平台

  • 所属分类:定制平台
  • 浏览次数:
  • 二维码:
  • 发布时间:2022-03-29 10:56:31
  • 产品特点
  • 产品参数
  • 系统架构

XY轴为直线电机,集成高精度光栅尺,重复定位精度±0.75um Z轴采用高精度私服电机+丝杆结构,光栅尺 反馈,重复定位精度±0.5um

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